在半导体生产过程中，检测是提升良率的关键环节，主要针对晶圆上的物理缺陷和图案缺陷。光学检测凭借非接触、快速和低成本的优势成为主流方案，而光源的性能直接影响检测效率与可靠性--高亮度、高稳定和多波长选择缺一不可。
传统卤素灯因寿命短（<1000小时）、亮度不足、紫外波段覆盖差且面临环保淘汰，已无法满足需求。Revox的SLG系列光纤光源以超高亮度、＞2万小时超长寿命和紫外到红外的多波长覆盖，成为半导体、显示及PCB检测的理想选择，助力客户实现更高效、稳定的检测流程。
短波长、高精度（SLG-150V-UV系列）
经济之选（SLG-150V/165V系列）
多端口、分时频闪（SLG-150HSP系列）
超亮、自由混光（SLG-450系列）
旗舰、超亮之选（SLG-600V2系列）
更强的穿透性（SLG-150V-NIR系列）
支持1024级调光，独特校正功能，实现调光线性
环境适应性强，亮度波动≤±3%
智能照度反馈，维持恒定光输出
注：SLG-150/165系列需选配；SLG-450/SLG-600系列标配
可选或定制点、环、线、面等光波导
超亮白光搭配线扫TDI相机，显著缩短曝光时间，大幅提升晶圆扫描效率
红外高穿透特性，直达内部缺陷
突破可见光极限，微痕精准成像
单工位实现3种光场成像，多类缺陷检出
2020-06-16
2021-12-16
2021-11-15
2022-12-05
2021-12-07
